11册 半导体芯片和制造 理论和工艺实用指南+干法刻蚀技术原子层工艺+先进封装技术+工程导论+氮化镓功率晶体管器件电路与应用书籍
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官网正版 半导体干法刻蚀技术 原书第2版 野尻一男 集成电路 等离子体 刻蚀工艺 磁控管 晶圆 电荷积累损伤 协同效应 溅射阈值
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半导体干法刻蚀技术(原书第2版) [日] 野尻一男
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半导体干法刻蚀技术(原书第2版)(日)野尻一男机械工业出版社9787111742029
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