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GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 中国质检出版社 实施日期: 2018-05-01

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GB/T 41852-2022半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法 中国质检出版社 实施日期: 2022-10-12

电脑版 | 更新时间:2024-10-12 01:21:55